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厂务系统有哪些

来源:济南纯水设备      2021/3/8 15:57:04      点击:
济南纯水设备 http://www.szxqhb.cnCleanroom System [ 洁净室系统 ]

a,内装修工程:(高架地板工程、洁净室隔墙板系统、铝合金龙骨吊顶/ceiling grid、无尘涂装、环氧地坪等)、压差控制系统、ESD防静电等;

b,循环空调系统:(包括部分供热与通风系统,比如MAU/OACAHUFFUDDCFCU、粗、中、高、超高过滤器、化学过滤器etc.、送气风机、排气风机 etc.);

c,FOUNDATION:防震机座、粉尘监测智能系统/DMS系统、风淋室、传递窗、层流罩、洁净工作台、洁净洗手器、洁净衣架、洁净电梯、正压洁净楼梯间系统、化学品储存冷库和压缩机etc.

Mechanical System [ 机械系统 ]

中央动力,Central utility Mechenical(热水、冷冻水、软水、工艺设备冷却水PCW、生产上水、自来水﹑饮用水、一般蒸汽和洁净蒸汽等管路供应系统;锅炉、冷冻机、冷却塔、空压机等厂务设施)

Specialty Gas and Bulk Gas [ 特殊气体和大宗气体 ]

a,Bulk Gas GAS YARD气站, CQCN2/H2/O2/Ar/He/天然气)【包括普通和超纯/精制气体】,压缩空气(CDA--有些FAB还将机台用CDA和厂务设备用CDA供应系统分开,呼吸空气供应系统等;

b,Specialty Gas System ( 部分特性有重迭 )

1)易燃性气体(Flammable Gas)

2)毒性气体(Toxic Gas

3)腐蚀性气体(Corrosive Gas

4)惰性气体(Inert Gas)

5)氧化性气体(Oxide Gas

6)低压/保温气体(Heat  Gas)

Water Treatment System [ 水处理系统 ]

a,超纯水供应系统、热/温纯水供应系统、一次纯水(RO水)供应系统 etc.

b,工艺废水处理(酸、碱、含氟排水、slurry/cmp、研磨排液、温排水、纯水回收、一般排水、TMAH显影液、H2O2、硫酸排液、磷酸排液、NH3排液etc.

c,办公用给排水系统:饮用水供应、自来水供应、生活污水处理、雨水排放系统etc

Exhaust System[工艺排气系统]

a,工厂SCRUBBER:酸、碱、有机VOC、粉尘、一般排气etc.[有些FAB还包括了紧急排烟/事故排风系统]

b,LOCAL SCRUBBER(一般附属于工艺设备):依其原理大概可分成下列几类 (1)电热水洗式; (2)燃烧水洗式(3) 填充水洗式;(4)干式吸附式。纯水设备

Chemical Dispensing System[化学品供应系统]

包括化学品供应系统和化学品回收系统,具体使用的化学品种类根据每个FAB产品的不同而不同:

a,Chemical Dispensing System化学品供应系统

酸性

碱性

有机溶剂

氧化腐蚀性

b,化学品回收系统:光刻胶resistSTRIPPER剥离液(EKCSST-A2ORPN311T106PGMEAPGME etc.)、异丙醇、硫酸废液、硫酸铜废液回收等

Vacuum System [ 真空系统 ]

真空系统包括工艺真空(Process Vacuum )、真空吸尘(Hose Vacuum)或者清扫用真空、设备真空Pumping-line/vent系统/Pumping-Exhaust系统。

Power Supply & Automation System [ 电力供应及自动化 ]

a,强电:高低压供电(包括中央变电站和各终端变电站)、ups电源供应系统(蓄电池组)、紧急柴油发电机系统、SSTS高速切换开关、VSS电容补偿系统等、各类配电盘、照明(包括tear drop泪滴型照明灯具、黄光灯)、插座;

b,弱电:各类动力、EHS方面的自控部分(包括各类弱电盘面)、FMCS厂务监控系统(包括各sub-scada系统),【监控方面还有气体监控系统(GMS)、气体侦测系统(GDS)、有的厂是GMSGDSFMCS纯水设备有的厂GMSGDS会分开来的】、各类电气接地、静电防护系统etc.

Construction [ 建筑结构 ]

建筑结构相关(包含厂房维修),主要分为建筑和结构两大块(有些FABEHS相关的防火门、逃生门、紧急疏散口、挡烟垂臂、升降平台etc.也归入此类)

EHS System Control [ 环境健康安全 ]

EHS涉及环境保护(污染物控制【三废处理等】、有害物质控制【PFCCFCPFOSROHS指令等、WEEE等】)、健康(职业卫生)、工业安全、能源、治安保卫、ERCERT应急响应等)、风险管理【ISO14001OHSAS18001QC080000等】,EHS其它等。

硬件涉及:消火栓设备、喷淋系统、漏液检测系统、门禁系统、电话广播系统、PHS系统、紧急对讲机系统,感温电缆报警系统、vesda、烟感热感探头、闭路电视系统/CCTV监视摄像头、消防与观光电梯、地震监控系统、SCBA呼吸面具、紧急冲淋、各类灭火器、PPE个人防护用具etc.

Energy Saving[厂务节能]

涵盖所有厂务系统的节能降耗、cost saving/cost downVE提案、能源管理等纯水设备实验室纯水设备济南水处理设备济南去离子水设备济南纯水设备医用GMP纯化水设备  半导体纯水设备